-
别再猜了!你的氧化钨薄膜成分总失控?揭秘钨靶材反应溅射
深入探讨使用金属钨靶通过反应磁控溅射制备氧化钨(WOx, WO3)薄膜的核心挑战与解决方案。解析氧分压控制、迟滞效应、工艺参数协同作用(功率、气压、温度),以及高品质钨靶材(纯度、密度)对实现精确化学计量比和稳定薄膜性能的关键影响。面向科研人员和工程师,提供从“盲调”到“精控”的实用见解,助力克服WOx薄膜制备中的常见痛点,优化薄膜质量与工艺稳定性。
넶0 2025-04-30 -
-
钨靶材详解|磁控溅射应用、缺陷分析【2025最新】
本文全面解析钨靶材在磁控溅射中的应用、常见缺陷与采购要点,适用于半导体、3D NAND、功率器件等领域,附品牌选型建议。
넶0 2025-04-28 -
真空镀膜必懂10种工艺,99%的人都忽略了这些细节!
全面解析十种真空镀膜技术,从原理、优缺点到应用案例,帮助材料工程师、工艺人员和研发人员精准选择适合的镀膜工艺,提升产品竞争力。
넶6 2025-04-27 -