不锈钢基片镀ZnO薄膜的工艺与研究

ZnO作为一种新型的光电材料，在光波导、半导体紫外激光器、发光器件、压电传感器和透明电极等方面有着广泛的应用。

本文江西国材科技有限公司综述了在不锈钢衬底上制备ZnO薄膜的方法和工艺。

1.使用设备：

FJL560A超高真空磁控管和离子束组合溅射设备

Thermo Fisher Apreo 2s场发射扫描电子显微镜

2.镀膜步骤：

⑴ 基片清洗：依次用丙酮和酒精超声波清洗15分钟，用氮气吹干

⑵ 镀膜操作各项数据：

⑶ 镀膜后处理: 气压0.8 Pa，在200摄氏度下加热2小时

3.膜厚数据：

4.不锈钢基片镀ZnO膜层测试SEM图谱：

ZnO薄膜具有一些优越的光电性能，因此，ZnO薄膜在一些光电器件的制备方面有其独特的优势。

利用ZnO薄膜开发电性能更好的透明电极、发光元件、太阳能电池窗口材料、光波导材料、场发射低压平板显示材料等具有非常广阔的前景。